한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

게이트 절연막의 전기적 특성에 미치는 유도결합$O_2$ 플라즈마 산화와 $N_2O$ 플라즈마 oxynitridation 효과

The effect of ICP $O_2$ oxidation and $N_2O$ oxynitridation on the electrical property of gate insulator

  • 김보현 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 안병태 (한국과학기술원 재료공학과)
  • 발행 : 2002.05.01
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