마이크로 파워 시스템의 개발

Development of Micro Power System

  • 방정환 (서울대학교 기계항공공학부 대학원) ;
  • 김세준 (서울대학교 기계항공공학부 대학원) ;
  • 전병선 (서울대학교 기계항공공학부 대학원) ;
  • 민홍석 (서울대학교 재료공학부 대학원) ;
  • 민경덕 (서울대학교 기계항공공학부) ;
  • 송성진 (서울대학교 기계항공공학부) ;
  • 주영창 (서울대학교 재료공학부)
  • 발행 : 2002.12.01

초록

This paper reports on the development of micro power system component under way at Seoul National University. The need of micro power system is explained and components of micro power system are described. The developments of hydrogen-air micro combustor, micro igniter based poly-silicon heater and micro thruster are described. To manufacture 3-D micro structure the process that manufactures high aspect ratio structures has been developed and optimized. Design, fabrication, and experiment processes are introduced and technical challenges in each phase are described.

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