미세 형상 Wire-E.D.M 가공시 작업조건에 따른 가공 변질층의 영향

  • 진영규 (삼성 Techwin (주) 반도체 부품 사업부) ;
  • 손정주 (삼성 Techwin (주) 반도체 부품 사업부) ;
  • 안태용 (삼성 Techwin (주) 반도체 부품 사업부) ;
  • 이영호 (삼성 Techwin (주) 반도체 부품 사업부)
  • Published : 2002.02.01