Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 2002.07c
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- Pages.2006-2007
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- 2002
Fabrication and characterization of Biological mass detecing system using PZT microcantilever
PZT 마이크로 켄틸레버를 이용한 생체 물질 무게 감지 소자의 제작 및 분석
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Lee, Jeong-Hoon
(Korea Institute of Science and Technology, Solco biomedical Co.) ;
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Hwang, Kyo-Seon
(Korea Institute of Science and Technology, Solco biomedical Co.) ;
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Kang, Ji-Yoon
(Korea Institute of Science and Technology, Solco biomedical Co.) ;
- Kim, Sang-Ho (Korea Institute of Science and Technology, Solco biomedical Co.) ;
- Ahn, Se-Young (Korea Institute of Science and Technology, Solco biomedical Co.) ;
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Kim, Tae-Song
(Korea Institute of Science and Technology, Solco biomedical Co.)
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이정훈
(한국과학기술연구원, (주)솔고바이오메디칼) ;
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황교선
(한국과학기술연구원, (주)솔고바이오메디칼) ;
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강지윤
(한국과학기술연구원, (주)솔고바이오메디칼) ;
- 김상호 (한국과학기술연구원, (주)솔고바이오메디칼) ;
- 안세영 (한국과학기술연구원, (주)솔고바이오메디칼) ;
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김태송
(한국과학기술연구원, (주)솔고바이오메디칼)
- Published : 2002.07.10
Abstract
MEMS 공정을 이용하여
Keywords