Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 2002.07c
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- Pages.1997-1999
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- 2002
High sensitivity humidity sensors using polyimide films without fluorinated group
플루오르 그룹을 배제시킨 폴리이미드를 이용한 고감도 습도 센서
- Shim, Jae-Hun (Mechanical Eng. Dept. Yonsei Univ.) ;
- Lee, Jun-Young (Chemical Eng. Dept. Yonsei Univ.) ;
- Kim, Jung-Hyun (SAIT) ;
- Choa, Sung-Hoon (SAIT) ;
- Kim, Yong-Jun (Mechanical Eng. Dept. Yonsei Univ.)
- Published : 2002.07.10
Abstract
고분자 주쇄(Main chain)의 소수성을 가지는 플루오르 그룹을 배제시킨 습도 민감성 폴리이미드를 합성 및 이미드화 하였고, 이를 이용한 초고참도 습도 센서를 제작 및 측정하였다. 사용된 폴리이미드는 다이아민계로 Oxydianyline(ODA)와 다이안하이드라이드계로 Pyromellitic dianhydried(PMDA)를 유기용매 Dimethyla cetamide(DMAc) 하에서 폴리이미드 전구체 (Polyamic acid)를 합성하였으며, 진공 및 승온 조건에서 유기용매를 제거하여 이미드화(Imidization) 반응을 진행시켜 제조하였다. 본 습도 센서는 정전용량형 고감도 습도 센서로 디자인되었으며 실리콘 웨이퍼상에서 일반적인 반도체 공정을 이용하여 구현하였다. 본 습도 센서는 센서 크기와 유효면적, 감습층의 두께를 주요 변수로 설정하였으며 이에 따른 습도 민감성 효과를 평가 및 분석하였다. 측정 결과 유효면적 70%, 감습층 두께
Keywords