Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 2002.07c
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- Pages.1988-1990
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- 2002
Micro Mass detection devices for Bio-Chip based on PZT Thick Film Cantilever
PZT 후막 캔틸레버를 이용한 바이오칩용 미세 무게 감지 소자
Abstract
마이크로 바이오칩용 미세 무게 감지 소자를 개발하기 위해 통상적인 MEMS 공정에 PZT sol solution을 함침하여 binder로서 적용하는 복합적인 스크린 인쇄 방법을 적용해
Keywords