대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)
- 대한전기학회 2002년도 하계학술대회 논문집 C
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- Pages.1976-1978
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- 2002
Micro CPL 제작을 위한 LIGA & MEMS 공정개발
The development of LIGA & MEMS precess for fabricating micro CPL
- Cho, Jin-Woo (Korea Electronics Technology Institute) ;
- Jung, Suk-Won (Korea Electronics Technology Institute) ;
- Park, Jun-Sik (Korea Electronics Technology Institute) ;
- Park, Soon-Sup (Korea Electronics Technology Institute)
- 발행 : 2002.07.10
초록
micro CPL 제작을 위한 LICA 및 MEMS 공정을 개발하였으며 양산화를 위한 새로운 방법으로
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