Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Electrical Engineers (대한전기학회)
권호 표지

Microplasma Arrays : Parallel Operation and Power Driving

마이크로플라즈마 어레이

  • 박성진 (아주대학교 공학연구소) ;
  • 김용상 (명지대학교 전기제어계측공학부) ;
  • 최용호 (명지대학교 전기제어계측공학부) ;
  • 조진훈 (명지대학교 화학과) ;
  • 이규왕 (명지대학교 화학과)
  • Published : 2002.07.10
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Abstract

$50{\sim}100$ micron의 지름을 가지는 면광원용 마이크로 할로우캐소드형 태의 플라즈마광 어레이가 2인치 미만의 크기로 제작. 분석되었다. 본 연구에서 제작된 소자들은 금속-절연층-금속의 다층구조로 100 micron 미만의 소자두께를 가지며 $300{\sim}1200$ Torr의 Neon, Xenon 및 여러 기체 mixture에서 안정되게 구동되었고 구동전압은 $100{\sim}150V$ 범위로 관찰되었다. 이 밖에도 대면적 어레이내 소자간 병렬구동을 위한 다양한 구조의 소자들이 제작되었으며, 이들의 방전 및 발광특성, 그리고 전기적 특성이 분석되었다.

Keywords