Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 2002.07c
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- Pages.1820-1822
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- 2002
$CF_4$ abatement technique with 3 phase AC plasma torch
삼상 교류 플라즈마 토치를 이용한 $CF_4$ 분해기술
Abstract
본 논문에서는 반도체 제조공정에서 발생하는
Keywords