대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)
- 대한전기학회 2002년도 하계학술대회 논문집 C
- /
- Pages.1581-1583
- /
- 2002
다공질 실리콘 : 화학 센서로써의 응용
Porous Silicon : Applications of Chemical Sensors
- Kang, Chul-Goo (Korea University) ;
- Kang, Moon-Sik (Korea University) ;
- Jin, Joon-Hyung (Korea University) ;
- Yoo, Jae-Tack (Anyang University) ;
- Hong, Suk-In (Korea University) ;
- Min, Nam-Ki (Korea University)
- 발행 : 2002.07.10
초록
본 논문은 다공질 실리콘 다이어프램에 대한 화학 센서의 일종인 습도, 에탄올, 메탄올의 감지 특성을 측정하고 전기 전도도의 변화를 고찰하였다. 먼저, TMAH 용액으로 실리콘 다이어프램을 제작한 후, HF와 에탄올의 혼합 용액내에서 일정 전압을 인가하여 다공질 실리콘 다이어프램을 형성하였다. 다공질 실리콘을 면(100)에 수직한 방향으로
키워드