C-type과 H-type 솔레노이드 RF칩 인덕터의 특성 비교

Characteristic Comparison of C-type and H-type Solenoid RF Chip Inductors

본 논문에서는 $1.62{\times}1.0{\times}0.88mm^3$ 크기의 C-type과 $1.58{\times}0.82{\times}0.94mm^3$ 크기의 H-type RF 칩 인덕터를 제작하고 그들의 고주파 특성을 비교하였다. 본 연구에서는 저손실 $Al_2O_3$ 코아 물질과 직경 $40{\mu}m$의 구리(Cu) 코일을 사용하였다. 권선수를 $2{\sim}14$회로 하여 인덕턴스(L), 품질계수(Q), 임피던스의 크기와 위상, 커패시턴스(C)를 HP4291B Impedance/Material Analyzer로 측정하였다. 10회 권선시 C-type은 55nH, H-type은 67nH, 14회 권선시 C-type은 100nH, H-type은 122nH 정도로 측정되었다. 실험 결과 H-type이 C-type보다 동일 권선수에 대하여 높은 인덕턴스와 높은 자기공진주파수(SRF)를 나타냄을 확인하였다. 또한 최대 품질계수는 두 형태가 거의 비슷한 값($55{\sim}87$)을 가짐을 관찰하였다. 따라서 H-type이 C-type보다 우수한 성질을 나타냄을 알 수 있다.