후막저항의 기하학적 위치에 따른 압력센서의 출력특성 고찰

A Study of Output Characteristics of Pressure Sensor based on Arrangement Pattern of Gages

  • 이성재 (대림대학 자동화시스템과) ;
  • 박하용 (삼척대학교 전기공학과) ;
  • 김재성 (한국전력공사) ;
  • 유재택 (안양대화교 전기전자공학과) ;
  • 민남기 (고려대학교 제어계측공학과)
  • 발행 : 2002.07.10

초록

본 논문에서는 세라믹 다이어프램식 압력센서를 설계하기 전에 세라믹 다이어프램의 변위에 대한 최적 조건을 확립하기 위해 세라믹의 기계적 특성, 다이어프램의 두께와 직경 등을 변화시키면서 중심부와 변곡점 부근에서 압력에 대한 다이어프램의 변위를 시뮬레이션 하였으며 결과를 이용하여 세라믹 다이어프램을 이용하고 후막저항을 센싱 부분으로 하여 4가지 형태의 기하학적인 출력특성을 고찰하였다.

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