대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)
- 대한전기학회 2002년도 하계학술대회 논문집 C
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- Pages.1470-1472
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- 2002
3원계 Ni-Cr-Si 스퍼터 박막의 제조공정 변화에 따른 전기적 특성
The effect of the process parameters on the electrical properties of Ni-Cr-Si alloy thin film resistor
- 이붕주 (인하대학교 전기공학과) ;
- 박구범 (유한대학 전기과) ;
- 육재호 (유한대학 전기과) ;
- 조기선 (유한대학 전기과) ;
- 남광우 (유한대학 전기과) ;
- 박종관 (유한대학 정보통신과) ;
- 유도현 (안산공과대학 전기과) ;
- 이덕출 (인하대학교 전기공학과)
- Lee, B.J. (Inha University) ;
- Park, G.B. (Yuhan college) ;
- Yuk, J.H. (Yuhan college) ;
- Cho, K.S. (Yuhan college) ;
- Nam, K.W. (Yuhan college) ;
- Park, J.K. (Yuhan college) ;
- You, D.H. (Ansan college of technology) ;
- Lee, D.C. (Inha University)
- 발행 : 2002.07.10
초록
3원계 51wt%Ni-4lwt%Cr-8wt%Si 합금 타겟을 가지고 DC/RF 마그네트론 스퍼터를 이용하여 박막저항을 제조하였고, 낮은 저항온도계수(TCR)를 가지는 박막을 만들기 위해 제조공정의 변화에 따른 박막의 미세구조와 전기적인 특성을 조사하였다. 스퍼터링 제조공정 변수로써 DC/RF Power, 반응압력, 기판온도를 변화시켰고, 제조된 박막은 공기중에서
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