Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Electrical Engineers (대한전기학회)
권호 표지

Development of Exhaust Flow Controller for P/R Coater Process

P/R Coater공정용 Exhaust Flow Controller의 개발

  • Park, Chan-Won (Dept. of Electrical Engineering, Kangwon National University) ;
  • Kim, Hyun-Sik (Dept. of Electrical Engineering, Kangwon National University) ;
  • Joo, Yong-Kyu (Dept. of Electrical Engineering, Kangwon National University)
  • 박찬원 (강원대학교 전기공학과) ;
  • 김현식 (강원대학교 전기공학과) ;
  • 주용규 (강원대학교 전기공학과)
  • Published : 2002.07.10
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Abstract

본 연구에서는 반도체 제조공정에서 photo resister를 도포하고 제거하는 coater와 developer 장치에서 도포막의 균일화를 위한 배기장치의 정밀한 유량제어기술을 소개 하고자 한다. 개발된 배기 제어장치는 차압식 유량계로서 차동 압력센싱 방식을 이용하고 One chip microprocessor로 A/D변환과 피드백 서보제어로 장치를 구현하였으며 제어 유량은 최대 2000${\ell}$/min로서 개발 후 성능과 안정성 평가가 우수하여 실제장비에의 장착이 가능하였다.

Keywords