Development of Thin-Film Electrode Structure by Co-Sputtering Method

코스퍼터링법에 의한 박막형 전극 구조 개발

  • 박경원 (광주과학기술원 신소재공학과) ;
  • 안광순 (광주과학기술원 신소재공학과) ;
  • 최종호 (광주과학기술원 신소재공학과) ;
  • 김영민 (광주과학기술원 신소재공학과) ;
  • 박인수 (광주과학기술원 신소재공학과) ;
  • 성영은 (광주과학기술원 신소재공학과)
  • Published : 2002.07.01