상온 증착된 ITO 박막의 열처리 조건에 따른 물리적 특성 변화

  • 박상덕 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 배정운 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 이도행 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 이영준 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 염근영 (성균관대학교 재료공학과)
  • 발행 : 2001.07.05