Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

상압에서 capacitively couple plasma type의 capillary electrode discharge를 이용한glow discharge plasma의 특성연구

  • 이창헌 (성균관 대학교, 재료공학과) ;
  • 이용혁 (성균관 대학교, 재료공학과) ;
  • 김동우 (성균관 대학교, 재료공학과) ;
  • 염근영 (성균관 대학교, 재료공학과)
  • Published : 2001.07.05
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Abstract

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