Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

C$_4$F$_8$O를 이용한 PECVD Plasma 세정 공정 중 지구 온난화 gas 방출에 대한 첨가 gas의 효과

  • 김지황 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 김기준 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 배정운 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 오병현 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 이내응 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 염근영 (성균관대학교 재료공학과)
  • Published : 2001.07.05
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