Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

TFT-LCD장치를 위한 multi-layer gate metal 식각 특성에서 유도결합형 플라즈마의 gas chemistry 효과

  • 송병관 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 이영준 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 염근영 (성균관대학교 재료공학과)
  • Published : 2001.07.05
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords