Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

CO$_2$ gas cluster 이온빔을 이용한 ITO/glass 평탄화

  • 송재훈 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터) ;
  • 윤덕주 (다산 C&I) ;
  • 오희범 (다산 C&I) ;
  • 최덕균 (한양대학교 무기재료공학과) ;
  • 정형진 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터) ;
  • 최원국 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터)
  • Published : 2001.07.05
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Abstract

Keywords