Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

2001.07a
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Pages.129-129
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2001

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)

권호 표지

CO$_2$ gas cluster 이온빔 특성 조사

송재훈 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터) ;
최덕균 (한양대학교 무기재료공학과) ;
최원국 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터)

Published : 2001.07.05

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