Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2001.07a
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- Pages.114-114
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- 2001
저진공펌프 배기구의 압력 및 기하학적 형상 변화에 기인한 펌프성능변화 진단
- Jeong, Sun-Hui ;
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Im, Jong-Yeon
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- Lee, Wan-Hyeong ;
- Sim, U-Geon ;
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Seong, Dae-Jin
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Sin, Yong-Hyeon
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- Jeong, Gwang-Hwa
- 정순희 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
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임종연
(한국표준과학연구원 진공기술센터)
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- 이완형 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
- 심우건 (한남대학교) ;
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성대진
(한국표준과학연구원 진공기술센터)
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신용현
(한국표준과학연구원 진공기술센터)
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- 정광화 (한남대학교)
- Published : 2001.07.05
Abstract
Keywords