Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2001.07a
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- Pages.102-103
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- 2001
이온플레이팅-이온주입 하이브리드 공정기술에 의한 cBN박막의 합성 및 특성 분석
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Lee, Seong-Hun
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- Gwon, Hyeon-Seong ;
- Byeon, Ung-Seon ;
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Kim, Jong-Guk
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Lee, Geon-Hwan
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- Lee, Eung-Jik ;
- Lee, Sang-Ro
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이성훈
(한국기계연구원) ;
- 권현성 (경상대학교) ;
- 변웅선 (한국기계연구원) ;
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김종국
(한국기계연구원) ;
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이건환
(한국기계연구원) ;
- 이응직 ((주)선익시스템) ;
- 이상로 ((주)에스이 플라즈마)
- Published : 2001.07.05
Abstract
Keywords