Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

재산화 질화산화막재 질소의 결합상태에 관한 연구

  • 이상은 (광운대학교 전자재료공학과) ;
  • 이명락 (삼성전자 오염제어기술PJT) ;
  • 남동우 (광운대학교 전자재료공학과) ;
  • 안호명 (광운대학교 전자재료공학과) ;
  • 서광열 (광운대학교 전자재료공학과)
  • Published : 2001.07.05
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Abstract

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