Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Unbalanced Magnetron Sputtering을 이용한 TiN 박막 성장 및 플라즈마 변수의 영향

  • 김용모 (성균관대학교 플라즈마 응용 표면기술 연구센터) ;
  • 정민재 (성균관대학교 플라즈마 응용 표면기술 연구센터) ;
  • 한전건 (성균관대학교 플라즈마 응용 표면기술 연구센터)
  • Published : 2001.02.22
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords