Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Internal ICP를 이용한 In-line sputter ion plating 개발

  • 주정훈 (군산대학교 공과대학 재료화학공학부) ;
  • 김선호 (군산대학교 공과대학 재료화학공학부) ;
  • 이운규 (군산대학교 공과대학 재료화학공학부)
  • Published : 2001.02.22
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Abstract

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