Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

2001.02a
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Pages.172-172
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2001

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)

권호 표지

MgO 보호막의 스퍼터링 수율 측정

현정우 (광운대학교 전자물리학과 대전입자빔 연구실) ;
오현주 (광운대학교 전자물리학과 대전입자빔 연구실) ;
김영권 (광운대학교 전자물리학과 대전입자빔 연구실) ;
최은하 (광운대학교 전자물리학과 대전입자빔 연구실) ;
강승언 (광운대학교 전자물리학과 대전입자빔 연구실)

Published : 2001.02.22

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