한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2001년도 창립10주년 제20회 학술발표회
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- Pages.169-169
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- 2001
강자성체 코팅용 마그네트론원 설계 및 특성에 관한 연구
A study on the magnetron source design and characteristics for ferro-magnetic materials
- 발행 : 2001.02.22