한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

강자성체 코팅용 마그네트론원 설계 및 특성에 관한 연구

A study on the magnetron source design and characteristics for ferro-magnetic materials

  • 빈진호 (성균관대학교 플라즈마 응용표면기술센터) ;
  • 남경훈 (성균관대학교 플라즈마 응용표면기술센터) ;
  • 한전건 (성균관대학교 플라즈마 응용표면기술센터)
  • 발행 : 2001.02.22
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