Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

2001.02a
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Pages.169-169
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2001

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)

권호 표지

A study on the magnetron source design and characteristics for ferro-magnetic materials

강자성체 코팅용 마그네트론원 설계 및 특성에 관한 연구

빈진호 (성균관대학교 플라즈마 응용표면기술센터) ;
남경훈 (성균관대학교 플라즈마 응용표면기술센터) ;
한전건 (성균관대학교 플라즈마 응용표면기술센터)

Published : 2001.02.22

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