Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

나노소자 식각을 위한 low angle forward reflected neutral beam에 관한 연구

  • 이도행 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 배정운 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 박상덕 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 염근영 (성균관대학교 재료공학과)
  • Published : 2001.02.22
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Abstract

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