Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2001.02a
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- Pages.117-117
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- 2001
글로우 방전을 이용한 진공용기의 청정화에 관한 연구
- Kim, Jeong-Hyeong ;
- Seo, In-Yong ;
- Im, Jong-Yeon ;
- Hong, Seung-Su ;
- Sin, Yong-Hyeon ;
- Im, In-Tae ;
- Seong, Dae-Jin ;
- Jeong, Gwang-Hwa
- 김정형 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
- 서인용 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
- 임종연 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
- 홍승수 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
- 신용현 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
- 임인태 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
- 성대진 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
- 정광화 (한국표준과학연구원 진공기술센터)
- Published : 2001.02.22
Abstract
Keywords