Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

증착방법에 따른 극미세 DLC 필름의 탄성률 측정

  • 정진원 (한국과학기술연구원 박막기술연구센타, 연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 이광렬 (한국과학기술연구원 박막기술연구센타) ;
  • 고대홍 (연세대학교 세라믹공학과)
  • Published : 2001.02.22
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