Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2001.02a
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- Pages.105-106
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- 2001
플라즈마 중합된 저유전상수 para-xylene 박막의 $H_{2}+He$ 플라즈마 처리에 의한 유전 및 열 특성 향상
- Published : 2001.02.22
Abstract
Keywords