Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2001.02a
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- Pages.90-90
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- 2001
150 keV $CO_{2}$ gas cluster 이온빔 소스의 특성 조사
- Song, Jae-Hun ;
- Gwon, Sun-Nam ;
- Hwang, Jeong-Nam ;
- Jeong, Gwang-Ho ;
- Choe, Deok-Gyun ;
- Jeong, Hyeong-Jin ;
-
Choe, Won-Guk
- 송재훈 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터) ;
- 권순남 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터) ;
- 황정남 (연세대학교 물리학과) ;
- 정광호 (연세대학교 물리학과) ;
- 최덕균 (연세대학교 물리학과) ;
- 정형진 (한양대학교 무기재료공학과) ;
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최원국
(한국과학기술연구원 박막기술연구센터)
- Published : 2001.02.22
Abstract
Keywords