YSZ를 완충층으로 적층성장된 절연막($CeO_{2}$/YSZ/Si)위에 증착한 Si박막의 결정성 향상에 관한 연구

• Lee, Gi-Uk ;
• Yang, Ji-Hun ;
• Yang, Jae-Geon ;
• Seo, Jin-U ;
• Park, Jong-Yun

• 이기욱 (성균관대학교 물리학과) ;
• 양지훈 (성균관대학교 물리학과) ;
• 양재건 (성균관대학교 물리학과) ;
• 서진우 (성균관대학교 물리학과) ;
• 박종윤 (성균관대학교 물리학과)

• Published : 2001.02.22

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