한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2001년도 창립10주년 제20회 학술발표회
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- Pages.55-55
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- 2001
($Co_{1-x}-Ta_{x}/Si$ 시스템에서의 실리사이드 형성 반응 연구)
- 발행 : 2001.02.22