한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2001년도 추계학술대회 논문집 Vol.14 No.1
- /
- Pages.394-397
- /
- 2001
$Ru/RuO_{2}$ 이중 전극위에 성장한 PZT 박막의 특성에 관한 연구
The study of the properties of PZT thin films deposited on $Ru/RuO_{2}$ electrode
초록
In this paper, in-situ deposited