한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2001년도 추계학술대회 논문집 Vol.14 No.1
- /
- Pages.217-220
- /
- 2001
$Ar/CF_{4}/Cl_{2}$ 플라즈마에 의한 $CeO_2$ 박막의 식각 특성 연구
A study on etch Characteristics of $CeO_2$ thin Film in an $Ar/CF_{4}/Cl_{2}$ Plasma
초록
The possibility of cerium dioxide