Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)
- 2001.05c
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- Pages.197-200
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- 2001
Characteristics of AS-deposited TaN Thin Films by Annealing Temperature
As-deposited TaN 박막의 열처리 온도에 따른 특성 변화
Abstract
반응성 스퍼터링법으로 TaN film을 증착한 후 열처리온도에 따라 TaN 박막의