한국전자현미경학회:학술대회논문집
- 한국현미경학회 2001년도 제32차 춘계학술대회
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- Pages.46-47
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- 2001
HRTEM 과 HAADF-STEM/EELS에 의한 poly-Si/ZrO2/Si 박막의 결정학적 특성 및 계면 반응 평가
Microstructural characterizations of the poly-Si/ZrO2/Si film using HRTEM and HAADF-STEM/EELS
- 김중정 ((주)하이닉스반도체 메모리(연) 분석개발팀) ;
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양준모
((주)하이닉스반도체 메모리(연) 분석개발팀)
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- 고중규 ((주)하이닉스반도체 메모리(연) 분석개발팀) ;
- 박주철 ((주)하이닉스반도체 메모리(연) 분석개발팀) ;
- 이순영 ((주)하이닉스반도체 메모리(연) 분석개발팀) ;
- 김정선 (국방과학연구소 기술연구본부 5부 5팀) ;
- 김근홍 (국방과학연구소 기술연구본부 5부 5팀)
- Kim, Jun-Jeong ;
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Yang, Jun-Mo
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- Go, Jung-Gyu ;
- Park, Ju-Cheol ;
- Lee, Sun-Yeong ;
- Kim, Jeong-Seon ;
- Kim, Geun-Hong
- 발행 : 2001.05.01