Cystallographic Characteristics of the BLT[(Bi,La)4Ti3O12] film

BLT[(Bi,La)4Ti3O12] 박막의 결정학적 특성에 관한 연구

  • 이덕원 ((주)하이닉스반도체 메모리(연) 분석개발팀) ;
  • 박태수 ((주)하이닉스반도체 메모리(연) 분석개발팀) ;
  • 최진태 ((주)하이닉스반도체 메모리(연) 분석개발팀) ;
  • 양준모 ((주)하이닉스반도체 메모리(연) 분석개발팀) ;
  • 박주철 ((주)하이닉스반도체 메모리(연) 분석개발팀) ;
  • 이순영 ((주)하이닉스반도체 메모리(연) 분석개발팀) ;
  • 김남경 ((주)하이닉스반도체 메모리(연) 선행공정4팀) ;
  • 양우석 ((주)하이닉스반도체 메모리(연) 선행공정4팀) ;
  • 염승진 ((주)하이닉스반도체 메모리(연) 선행공정4팀)
  • Published : 2001.05.01