Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 2001.11a
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- Pages.171-173
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- 2001
A Study on the Electrical and Optical Properties of Transparent Conductive ZnO:Al Films on Variation of Film Thickness
막 두께에 따른 ZnO:Al 투명 전도막의 전기적, 광학적 특성
- Yang, J.S. (Kyungwon Univ.) ;
- Park, W.H. (Kyungwon Univ.) ;
- Kim, Y.J. (Kyungwon Univ.) ;
- Seong, H.Y. (Kyungwon Univ.) ;
- Keum, M.J. (Kyungwon Univ.) ;
- Son, I.H. (Shinsung College) ;
- Shin, S.K. (Tonghae Univ.) ;
- Kim, K.H. (Kyungwon Univ.)
- 양진석 (경원대학교 전기전자공학과) ;
- 박원효 (경원대학교 전기전자공학과) ;
- 김용진 (경원대학교 전기전자공학과) ;
- 성하윤 (경원대학교 전기전자공학과) ;
- 금민종 (경원대학교 전기전자공학과) ;
- 손인환 (신성대학 전기과) ;
- 신성권 (동해대학교 정보통신공학과) ;
- 김경환 (경원대학교 전기전자공학과)
- Published : 2001.11.03
Abstract
ZnO:Al transparent conductive thin films were prepared by facing targets sputtering system with a DC power supply using ZnO target containing 2wt% of
Keywords