Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 2001.11a
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- Pages.65-68
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- 2001
Design and fabrication of Rotary Microactuator Using SEA(Skewed Electrode Actuator)
SEA(Skewed Electrode Actuator)를 이용한 회전형 마이크로 액츄에이터의 설계 및 제작
- Choi, Seok-Moon (Mechanical Eng. Dept. Yonsei Univ.) ;
- Hwang, Eun-Su (Mechanical Eng. Dept. Yonsei Univ.) ;
- Cho, Dong-Woo (Mechanical Eng. Dept. POSTECH) ;
- Kim, Young-Jun (Yonsei. Univ.) ;
- Lee, Sang-Jo (Yonsei. Univ.)
- 최석문 (연세대학교 대학원 기계공학과) ;
- 황은수 (연세대학교 대학원 기계공학과) ;
- 조동우 (포항공대 기계공학과) ;
- 김용준 (연세대학교 기계전자 공학부) ;
- 이상조 (연세대학교 기계전자 공학부)
- Published : 2001.11.03
Abstract
본 연구에서는 코움 드라이브에 비해 구동력은 크고 평행 판 구동 방식에 비해서는 선형 특성이 우수하며 안정된 구동거리가 증가하는 특성을 갖는 새로운 정전력(electrostatic force) 구동 방식을 제안한다. 운동 전극과 고정 전극을 기울어지게 배치하여 전극 면에 평행한 정전력
Keywords