대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)
- 대한전기학회 2001년도 추계학술대회 논문집 전기물성,응용부문
- /
- Pages.20-21
- /
- 2001
후열처리에 따른 실리콘 나노결정 박막의 광학적 특성 변화 연구
Annealing Effect on the Photoluminescence of Si Nanocrystalites Thin Films
- Jeon, Kyung-Ah (Dept. of Electrical and Electronic Engineering, Yonsei University) ;
- Kim, Jong-Hoon (Dept. of Electrical and Electronic Engineering, Yonsei University) ;
- Lee, Sang-Yeol (Dept. of Electrical and Electronic Engineering, Yonsei University)
- 발행 : 2001.11.03
초록
실리콘 나노결정 박막은 Nd:YAG 레이저를 사용한 펄스레이저 증착법으로 p형 (100) 실리콘 기판위에 형성되였다. 증착 후, 다양한 분위기 가스와
키워드