대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)
- 대한전기학회 2001년도 학술대회 논문집 전문대학교육위원
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- Pages.76-79
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- 2001
$SiH_4$ 가스의 에너지 분포함수 관한 연구
Analysis of Energy Distribution Function in $SiH_4$ Gas
- Seong, Nak-Jin (Incheon City College) ;
- Kim, Sang-Nam (Incheon City College)
- 발행 : 2001.07.10
초록
Energy distribution function in
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