대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)
- 대한전기학회 2001년도 합동 추계학술대회 논문집 정보 및 제어부문
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- Pages.115-118
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- 2001
반도체 제조장비용 Stage를 위한 1축 선형 브러시리스 DC 모터의 정밀 위치제어에 관한 연구
A Study on Precision Position Control of 1 Axis Linear BLDC Motor for a Stage
- Chun, Y.H. (Korea Electrotechnology Research Institute) ;
- Kim, J.W. (Korea Electrotechnology Research Institute) ;
- Jeon, J.H. (Korea Electrotechnology Research Institute) ;
- Jeon, J.W. (Korea Electrotechnology Research Institute) ;
- Kang, D.H. (Korea Electrotechnology Research Institute)
- 발행 : 2001.11.24
초록
일반적으로 반도체 제조 공정은 매우 복잡하고 다양한 공정들로 구성된다. 이러한 공정 중 Stage 부분은 웨이퍼에 회로 패턴을 기입하기 위하여 웨이퍼를 미리 지정된 위치로 이송하는 공정으로 매우 높은 정밀도가 요구되고 있다. Stage에 대해서는 x, y, z축 뿐아니라 각 축에 대한 회전까지도 고려한 6축 제어가 수행되어야 한다. 본 논문에서는 stage에 대한 정밀제어의 기반기술로서 선형 BLDC 모터를 이용하여 1축 위치제어 시스템의 제어에 관하여 연구하였다. 선형 BLDC 모터의 이동 중 발생하는 추럭리플을 보상하여 제어기 설계시 선형 시스템으로 고려하여 제어기를 설계할 수 있도록 하는 방법을 제안하였으며 실험을 통하여 1[
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