Laser-induced wet etching of Ti(titanium) for three dimensional micromachining

레이저 유도 습식에칭을 이용한 티타늄의 3차원 미세가공

  • 신용산 (광주과학기술원 기전공학과) ;
  • 정성호 (광주과학기술원 기전공학과)
  • Published : 2001.11.01