Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)
- 2001.11a
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- Pages.33-34
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- 2001
The Study on the (Ti,Cr)N coatings deposited by inductively coupled plasma assisted direct current magnetron sputtering
유도 결합 플라즈마를 이용한 마그네트론 스퍼터링법에 의한 (Ti, Cr)N박막의 제조 및 특성 평가
Abstract
Keywords