Study on the adhesion improvement of Ti/TiN thin film by insert Ti interlayer

Ti/TiN 박막에서의 Ti interlayer삽입에 의한 밀착력 향상에 관한 연구

  • 김광석 (한국항공대학교 항공재료공학과) ;
  • 정재원 (한국항공대학교 항공재료공학과) ;
  • 이상율 (한국항공대학교 항공재료공학과)
  • Published : 2001.06.01