Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)
- 2001.06a
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- Pages.66-67
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- 2001
Study on the adhesion improvement of Ti/TiN thin film by insert Ti interlayer
Ti/TiN 박막에서의 Ti interlayer삽입에 의한 밀착력 향상에 관한 연구
Abstract
Keywords